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薄膜表面缺陷在線檢測系統

2023-12-18 0

  賽默斐視薄膜表面缺陷在線檢測系統是一款針對薄膜表面缺陷進行檢測的系統,在生產中主要用于各種不同種類薄膜的缺陷檢測,包括:氣泡、劃痕、灰塵、斑點等。該系統采用賽默斐視自主研發的智能圖像處理算法,可有效地識別膜表面的缺陷,如:氣泡、劃痕、灰塵、斑點等,具有精度高,速度快,可靠性高,不會對產品造成損壞的優點。

  該系統采用相關系數法準確求出薄膜灰度圖像的最小重復周期,根據最小重復周期確定兩個比對圖像塊并求出差值圖像,再將差值圖像二值化再進行形態學處理,最后經過面積約束條件找出薄膜瑕疵所在位置。充分利用FPGA并行處理的優勢,提高了圖像處理的速度。實踐應用證明,該系統能夠在300 m/min的薄膜生產線上成功檢測出瑕疵面積僅10個像素的瑕疵。

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